纯氧曝气活性污泥法又称富氧曝气活性污泥法。空气中氧的含量仅为21%，一般纯氧中的含氧量为90%~95%，而纯氧的氧分压比空气高4.4~4.7倍，用纯氧进行曝气能够提高氧的向混合液中的传递能力。

　　纯氧曝气系统的主要特点有：

　　（1）氧利用率可达80%~90%，而鼓风曝气系统仅为15%~20%；

　　（2）曝气池内混合液的MLSS值可达4000~7000mg/L，能够提高曝气池的容积负荷，大幅度减小池容；

　　（3）曝气池混合液的SVI值较低，一般为100左右，污泥膨胀现象不易发生

　　（4）产生的剩余污泥量少。

　　纯氧曝气池多为密闭式，以防氧气外溢或可燃性气体进入。池内分成若干个小室，各室串联运行，每室流态均为完全混合。池内气压应略高于池外以防池外空气渗入，同时，池内产生的废气如CO2等得以排出。